[发明专利]一种可调三维集成电容器及电容调节方法有效
| 申请号： | 202010305533.6 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN111477456B | 公开（公告）日： | 2021-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;陈佳俊;余宁梅 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01G4/38 | 分类号： | H01G4/38 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 韩玙 |
| 地址： | 710048 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种可调三维集成电容器，包括多个三维集成电容、多个TSV垂直开关a、多个TSV垂直开关b，相邻两个三维集成电容之间设置一个TSV垂直开关a和一个TSV垂直开关b，每个TSV垂直开关a漏极连接上一个三维集成电容下极板，源极连接下一个三维集成电容上极板，每个TSV垂直开关b源极连接上一个三维集成电容上极板，漏极连接下一个三维集成电容下极板；与二维平面电容器相比，三维集成电容器具有较大的电容密度，较小的对地寄生电容参数；利用TSV垂直开关的栅极电压的变化会引起TSV垂直开关的打开与关断，从而实现对N+1个三维集成电容器是否并联和几个三维集成电容器并联的控制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可调 三维 集成 电容器 电容 调节 方法 | ||
【主权项】：
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