[发明专利]一种检测蚀刻用高精度引线框架材料平整度的快速方法有效
| 申请号： | 202010306227.4 | 申请日： | 2020-04-17 |
| 公开（公告）号： | CN113534612B | 公开（公告）日： | 2023-02-17 |
| 发明（设计）人： | 郭慧稳;丁顺德;牛立业;万建;王梦娜 | 申请（专利权）人： | 中铝洛阳铜加工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16;G01B11/30 |
| 代理公司： | 洛阳高智达知识产权代理事务所(普通合伙) 41169 | 代理人： | 李世平 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种检测蚀刻用高精度引线框架材料平整度的快速方法，工艺流程为：取样‑一次涂感光胶‑一次烘干‑一次制版‑一次曝光‑一次显影‑边部蚀刻‑去感光胶‑二次涂感光胶‑二次烘干‑二次制版‑二次曝光‑二次显影‑半蚀刻或全蚀刻‑平整度测量‑平整度评价；本发明解决了铜带出厂前预判高精度引线框架材料铜带蚀刻后平整度的难题，操作过程中喷涂、烘干、制版、蚀刻等步骤主要以机器来实现，降低了操作过程人为因素造成的影响，提高了蚀刻控制的准确性，蚀刻的效率有了很大改善，带材蚀刻后平整度的预判也更加准确，适用于大批量生产中快速预判高精度引线框架材料铜带蚀刻后平整度的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 检测 蚀刻 高精度 引线 框架 材料 平整 快速 方法 | ||
【主权项】：
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