[发明专利]一种激光器芯片测试装置及测试方法在审
| 申请号： | 202010308936.6 | 申请日： | 2020-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN111323696A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 廖传武;王志文;侯炳泽 | 申请（专利权）人： | 大连优迅科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01J3/28;H01S5/00 |
| 代理公司： | 大连理工大学专利中心 21200 | 代理人： | 隋秀文;温福雪 |
| 地址： | 116023 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明属于光通信技术领域，具体涉及一种激光器芯片测试装置及测试方法，用于测试激光器芯片的光谱。测试装置包括：左、右探针调节台、芯片热沉调节基台、芯片测试台底座。探针调节台包括轴位移台底座、三轴位移台、探针底座、探针支架、芯片探针，三轴位移台用于调节芯片探针的位置，探针底座用于调节探针支架的角度，芯片探针尖端设有软探针。右探针调节台结构与左探针调节台相同，分别连接LD‑探针和LD+探针，芯片热沉调节基台设于两探针调节台之间，包括xy位移台底座、xy位移台和芯片测试台，芯片测试台上表面设有多个真空吸孔，用于放置待测激光器芯片。本发明实现在封装前对芯片进行测试、筛选掉不合格的芯片，以避免损失。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光器 芯片 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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