[发明专利]一种中小型磁偏转电子束蒸发源磁路结构构建方法有效
| 申请号： | 202010312149.9 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111611733B | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 阿力甫·库提鲁克;李浩;梅新灵;谢斌平 | 申请（专利权）人： | 费勉仪器科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/23 | 分类号： | G06F30/23;G06F30/17;C23C14/30 |
| 代理公司： | 上海国瓴律师事务所 31363 | 代理人： | 傅耀 |
| 地址： | 201900 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： |
本发明提供了一种中小型磁偏转电子束蒸发源磁路结构构建方法，其特征在于：初始化L、α、△L、△α：判断L是否大于L |
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| 搜索关键词： | 一种 中小型 偏转 电子束 蒸发 磁路 结构 构建 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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