[发明专利]一种可快速干燥的真空镀膜设备

摘要

本发明提供了一种可快速干燥的真空镀膜设备，属于真空镀膜技术领域，包括镀膜室，所述镀膜室内底部设置有蒸发室，所述蒸发室内部设置有加热板，所述蒸发室上方转动安装有靶材盛放板，所述靶材盛放板上下两侧均设置有加热组件以及带动所述加热组件沿所述靶材盛放板长度方向水平往复移动的驱动组件；所述加热组件包括红外加热管以及用于固定所述红外加热管的支架。本发明实施例具有清洁效果好的优点，通过驱动组件带动加热组件沿靶材盛放板长度方向水平往复移动，从而对靶材表面进行加热，将靶材表面附着的灰尘、水渍等杂物受热挥发，从而实现靶材表面的清洁与干燥，为靶材后续的镀膜创造良好的条件，提高镀膜效果和镀膜质量。