[发明专利]一种化学机械平坦化设备在审
| 申请号： | 202010313089.2 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111482891A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 李婷;岳爽;尹影;崔凯;蒋锡兵;靳阳 | 申请（专利权）人： | 北京烁科精微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/10 | 分类号： | B24B37/10;B24B57/02;B24B53/017;B24B41/02;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 王艺涵 |
| 地址： | 100176 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种化学机械平坦化设备，包括机座，所述机座上移动设置有喷液组件和修整组件，所述喷液组件随所述修整组件移动，所述喷液组件具有至少一个出液口，从所述出液口喷出的液体均匀地分布在抛光垫的修整区域上。本发明提供一种提高了晶圆表面均匀度的化学机械平坦化设备。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械 平坦 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京烁科精微电子装备有限公司，未经北京烁科精微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010313089.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种塑料加工用钻孔机
- 下一篇：图像处理器、图像处理方法、拍摄装置和电子设备
