[发明专利]膜厚的检测装置在审
| 申请号： | 202010313994.8 | 申请日： | 2020-04-20 |
| 公开（公告）号： | CN111322941A | 公开（公告）日： | 2020-06-23 |
| 发明（设计）人： | 戚务昌;宋荣鑫;张凯;林永辉 | 申请（专利权）人： | 威海华菱光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人： | 霍文娟 |
| 地址： | 264209 山东省威海*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种膜厚的检测装置，该装置包括：共通电极单元，包括共通电极；检出电极单元，与共通电极单元在第一方向相对且间隔设置，检出电极单元包括检出电极、检出电极盖板、第二框体、中间层及导电层，中间层位于检出电极盖板的表面上，导电层位于中间层远离检出电极盖板的表面上，中间层的表面粗糙度小于检出电极盖板的表面粗糙度，第二框体具有第二开口，检出电极盖板盖设在第二框体的第二开口上，第二框体与检出电极盖板形成第二容纳空间，检出电极位于第二容纳空间内，检出电极盖板的介电常数大于3.9，第一方向与检出电极盖板的厚度方向平行，共通电极单元与检出电极单元之间形成检测通道，该方案提高了膜厚检测装置的感度。 | ||
| 搜索关键词： | 检测 装置 | ||
【主权项】：
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