[发明专利]大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置及其制备方法在审
| 申请号： | 202010315284.9 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111364101A | 公开（公告）日： | 2020-07-03 |
| 发明（设计）人： | 肖尧明 | 申请（专利权）人： | 泉州师范学院 |
| 主分类号： | C30B29/12 | 分类号： | C30B29/12;C30B7/14;C30B28/04;H01L51/48;H01L51/42 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 陆帅;蔡学俊 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭循环制备装置，包括前驱液循环系统、反溶剂循环系统、惰性气体循环系统、大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统和加热系统；前驱液循环系统的第一进液口与第一排液口、反溶剂循环系统的第二进液口与第二排液口、惰性气体循环系统的进气口与排气口均通往大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统，加热系统对大面积准单晶钙钛矿薄膜密闭生长系统进行加热。本发明装置结构简单，制备条件温和可控，制备方法简单有效且环保，能够实现各种基于溶液法制备的大面积薄膜的规模化连续循环生产。 | ||
| 搜索关键词： | 大面积 准单晶钙钛矿 薄膜 密闭 循环 制备 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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