[发明专利]基材上图案的测量系统及方法在审
| 申请号： | 202010317565.8 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111948908A | 公开（公告）日： | 2020-11-17 |
| 发明（设计）人： | 全祥求 | 申请（专利权）人： | 全祥求 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 美国纽约州斯克*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开了基材上图案的测量系统及方法。所述方法可包括：制备具有有机图案的基材，将激发光导向基材上的有机图案，从有机图案发射荧光，探测从有机图案发射的荧光强度，根据探测到的荧光强度，确定基材上有机图案的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 基材 图案 测量 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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