[发明专利]一种纳米环的制备方法有效
| 申请号： | 202010317602.5 | 申请日： | 2020-04-21 |
| 公开（公告）号： | CN111453693B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 刘召军;蒋府龙;李四龙 | 申请（专利权）人： | 南方科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/04 | 分类号： | B81B7/04;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆;潘登 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种纳米环的制备方法。该方法包括：在氮化镓基外延衬底上沉积出氧化膜；在所述氧化膜的表面旋涂光刻胶；基于具有预设图案的掩膜版对所述光刻胶进行曝光显影以将所述光刻胶图案化，所述图案化的光刻胶包括呈阵列排布在所述氧化膜上的多个纳米级环状凸起；基于所述图案化的光刻胶对所述氧化膜进行刻蚀以将所述氧化膜图案化，所述图案化的氧化膜包括呈阵列排布在所述氮化镓基外延衬底的多个纳米级环状凸起。本发明实施例实现了简单、低成本的制备氮化镓基纳米环。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 纳米 制备 方法 | ||
【主权项】：
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