[发明专利]一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法有效
| 申请号： | 202010321081.0 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111479458B | 公开（公告）日： | 2022-04-08 |
| 发明（设计）人： | 闫长春;施维捷;曹博文;郭慧 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学 |
| 主分类号： | H05K9/00 | 分类号： | H05K9/00 |
| 代理公司： | 南京经纬专利商标代理有限公司 32200 | 代理人： | 周敏 |
| 地址： | 221116 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于层状倾斜ITO纳米棒阵列的可见光高透过的中红外吸波器件及其制备方法。该器件由自下而上依次叠加排列的三层倾斜的ITO纳米棒阵列构成，三层ITO纳米棒的倾斜角自下而上分别为14.6°、28.2°、45.8°，三层ITO纳米棒的半径自下而上依次减小，其中每层ITO纳米棒阵列厚度为200nm，每层ITO纳米棒阵列均呈六方晶格排列；通过电子束蒸发镀膜系统，在洁净的衬底上通过三个不同沉积角分别沉积ITO，样品退火后获得层状倾斜ITO纳米棒阵列结构。本发明制备的器件具有可见光波段的高透过率以及3‑5μm波段的高吸收率，可应用于窗口类隐身材料或相关器件领域，制备工艺简单，制备的器件面积大，易于大规模生产。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 层状 倾斜 ito 纳米 阵列 可见光 透过 红外 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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