[发明专利]一种基于HVPE工艺的GaN晶体转运托盘装置及转运方法有效
| 申请号： | 202010321799.X | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111304741B | 公开（公告）日： | 2023-09-19 |
| 发明（设计）人： | 鲁亮;胡宇鹏;王珏;周本权;刘伟;李明海;李思忠 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院总体工程研究所 |
| 主分类号： | C30B25/12 | 分类号： | C30B25/12;C30B25/08;C30B29/40 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 许驰 |
| 地址： | 621908*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于HVPE工艺的GaN晶体转运托盘装置及转运方法及转运方法，装置包括托盘、相变材料；托盘形成为中空结构；GaN晶体转运托盘装置中托盘采用了石墨材料制成，托盘内填充相变材料，托盘可以循环重复使用，利用GaN晶体生长环境吸热，在出炉区放热，充分利用了现有设备的环境，完成了现有技术中准备区的功能，简化了硬件，能耗、成本低；GaN晶体转运托盘装置的转运方法，包括密封工艺的设计；在填充过程中，增加了手套箱的操作，设计了抽负压的工艺流程环节，提高了装置的安全性能；将原有工艺中需要1h的工艺流程简化为约30min，大大提高了GaN晶体生长工艺的效率，提高了产能的同时，降低了成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 hvpe 工艺 gan 晶体 转运 托盘 装置 方法 | ||
【主权项】：
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