[发明专利]一种超静真空测试装置及方法在审
| 申请号： | 202010322226.9 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN111470073A | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 王亚军;赛建刚;高斌;赵燕;高博;韩磊;孟宁飞;于攀龙;贾琦;张海民 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | B64G7/00 | 分类号： | B64G7/00;F04B41/02;F04B41/06;F04B37/14;G01M99/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 王凯敏 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 为了解决真空测试装置的振动和抖动导致航天器地面真空测试结果不准确，甚至无法测试的技术问题，本发明提供了一种超静真空测试装置及方法。本发明将真空罐和测试真空罐分离，二者之间采用波纹管连接，避免了干泵、分子泵、低温泵直接连接在测试真空罐上，在运转过程中对测试真空罐的振动影响；通过第一气浮平台的气缸的支撑，使测试真空罐处于气浮状态，隔绝了外界对测试真空罐的振动影响；通过第二气浮平台的气缸的支撑，使载物平台处于气浮状态，进而使得置于载物平台上的试验产品处于气浮状态，隔绝了外界对试验产品的振动影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 测试 装置 方法 | ||
【主权项】：
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