[发明专利]一种化学气相沉积炉的料柱压力调节装置

摘要

本发明实施例公开了一种化学气相沉积炉的料柱压力调节装置。料柱压力调节装置包括：设置有通孔的石墨盖板以及放置于通孔内的石墨球；石墨盖板设置于与进气方向相对一端的料柱端部，石墨盖板的通孔包括远离料柱一端为圆柱形孔和接近料柱的一端为锥形孔，石墨球设置于锥形孔内，且石墨球的底面与锥形孔的孔壁紧贴；料柱压力调节装置，被配置为料柱的压力大于压力阈值时，石墨球被顶起使得石墨球与锥形孔分离开，料柱中的部分气体从压力调节装置中排出。本发明实施例解决了现有制造碳刹车盘的方式，工艺过程中由于未沉积的热解碳的积聚引起料柱压力过大，且无法释放料柱压力，在预制体表面形成碳黑，从而严重影响碳刹车盘性能的问题。