[发明专利]一种硅片的金刚线切片工艺在审
| 申请号： | 202010323224.1 | 申请日： | 2020-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN113524471A | 公开（公告）日： | 2021-10-22 |
| 发明（设计）人： | 郭庆红;李飞龙;熊震 | 申请（专利权）人： | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯光伏电力（洛阳）有限公司;阿特斯阳光电力集团股份有限公司 |
| 主分类号： | B28D5/00 | 分类号： | B28D5/00;B28D5/04 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 巩克栋 |
| 地址： | 215129 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种硅片的金刚线切片工艺。所述金刚线切片工艺包括：向金刚线切片机的切割液缸中加入冷却液，启动所述金刚线切片机将硅棒切割成硅片，切割的同时循环所述冷却液对金刚线进行冲洗，累计切割一段时间后，使用碱液对所述金刚线切片机的切割室、冷却管路和热交换器进行清洗，所述清洗包括碱洗、水洗和冷却液洗。本发明通过在金刚线切片机累计运行一段时间后，采用对切割室、冷却管路和热交换器进行清洗，去除其中附着的硅粉，从而有效降低了金刚线的断线率，提高了硅片良品率，提高了产能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 金刚 切片 工艺 | ||
【主权项】：
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