[发明专利]一种基于微腔谐振选频的高性能窄带红外探测器

摘要

本发明公开了一种基于微腔谐振选频的高性能窄带红外探测器。探测器利用材料的红外吸收特性结合器件结构的特定设计进而可以实现红外波段的窄带探测。具体来说，通过将探测器设计成特定的微腔结构，基于微腔结构的共振模式，可以实现对入射红外光的窄带选频探测，并且这种共振模式可极大提高器件的吸收量子效率。通过调节掺杂浓度，在提高吸收量子效率的同时还可以有效的降低器件的暗电流，从而实现一种高性能的、免滤波的窄带红外气体探测器。此外，该器件的器件工艺与现有的红外焦平面工艺完全兼容，可以很方便地实现一种具有本征窄带探测性能的红外焦平面探测器芯片。