[发明专利]纳流体富集器件、其制作方法、富集方法及检测装置有效
申请号: | 202010325639.2 | 申请日: | 2020-04-23 |
公开(公告)号: | CN113546696B | 公开(公告)日: | 2022-08-09 |
发明(设计)人: | 马啸尘;宁策;袁广才;谷新;郭康;周雪原;李正亮 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | B01L3/00 | 分类号: | B01L3/00;G01N21/64 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 刘源 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种纳流体富集器件、其制作方法、富集方法及检测装置,包括:衬底基板,依次位于衬底基板上的纳米通道层和电极层;纳米通道层包括:相互独立的富集槽和基液槽,位于富集槽与基液槽之间且两端具有开口的第一通道;电极层包括:第一电极、第二电极和第三电极;其中,第一电极与第二电极电连接;第一电极在衬底基板上的正投影位于富集槽的正投影与基液槽的正投影之间;第二电极在衬底基板上的正投影位于富集槽的正投影远离基液槽的正投影一侧;第三电极在衬底基板上的正投影位于基液槽的正投影远离富集槽的正投影一侧;第一电极、第二电极和第三电极被配置为加载交流信号,以控制基液槽中不同荷质比的带电粒子分批在富集槽内富集。 | ||
搜索关键词: | 流体 富集 器件 制作方法 方法 检测 装置 | ||
【主权项】:
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