[发明专利]彩色滤光基板及制作方法有效
| 申请号： | 202010326398.3 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111427188B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 柯健 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;G03F7/00 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 蔡光仟 |
| 地址： | 215301 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种彩色滤光基板的制作方法，其包括步骤：在基底上依次形成绝缘层、不透光层和光阻层；对光阻层进行曝光、显影；对不透光层进行第一次蚀刻；对绝缘层进行蚀刻，以形成周期性的棱柱结构；对光阻层进行剥膜处理；对不透光层进行第二次蚀刻，去除不透光层。本发明提供的彩色滤光基板及制作方法，通过在绝缘层上增加不透光层，使得在曝光过程中，光线不会通过透明的绝缘层照射到曝光机台，进而避免了由于曝光机台反光导致的光阻层在曝光显影过程中发生的异常，从而可以避免彩色滤光基板产生mura现象，能改善产品品质并提升产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 彩色 滤光 制作方法 | ||
【主权项】：
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