[发明专利]成像光学系统和检测装置有效
| 申请号： | 202010327819.4 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN113552692B | 公开（公告）日： | 2022-09-23 |
| 发明（设计）人： | 杨晓青;王婷婷 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B13/00 | 分类号： | G02B13/00;G02B13/22;G03F7/20;G01N21/94 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种成像光学系统和检测装置，包括沿光轴顺次设置的物面、具有正光焦度的第一透镜、具有正光焦度的第二透镜、具有负光焦度的第三透镜、具有负光焦度的第四透镜、具有正光焦度的第五透镜、具有正光焦度的第六透镜、具有负光焦度的第七透镜、具有正光焦度的第八透镜及具有正光焦度的第九透镜。本发明提供的成像光学系统，结构简单紧凑，成本低，且具有较好的成像质量，满足掩模颗粒检测装置的光学设计需求。 | ||
| 搜索关键词： | 成像 光学系统 检测 装置 | ||
【主权项】：
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