[发明专利]一种集成微色散透镜阵列面板和并行彩色共聚焦测量系统有效

专利信息
申请号: 202010328182.0 申请日: 2020-04-23
公开(公告)号: CN111487038B 公开(公告)日: 2022-04-08
发明(设计)人: 余卿;张雅丽;程方;王寅;张一;尚文键;邹景武;周东方;张昆 申请(专利权)人: 华侨大学
主分类号: G01M11/02 分类号: G01M11/02;G01B11/24
代理公司: 北京高沃律师事务所 11569 代理人: 刘凤玲
地址: 362000 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明涉及一种集成微色散透镜阵列面板和并行彩色共聚焦测量系统。该集成微色散透镜阵列面板包括:基片和微色散透镜阵列,所述微色散透镜阵列布设在所述基片上,所述微色散透镜阵列用于对复色光源发出的光进行分束和并行色散,所述基片用于固定所述微色散透镜阵列。本发明能够实现多点并行测量,提高测量效率和精度。
搜索关键词: 一种 集成 色散 透镜 阵列 面板 并行 彩色 聚焦 测量 系统
【主权项】:
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