[发明专利]一种红外焦平面探测器的铟柱及其制备方法

摘要

本发明涉及一种红外焦平面探测器的铟柱的制备方法及用该方法制备的铟柱，本发明方法首先在芯片表面旋涂薄光刻胶，对准像元或读出单元电极中心开展一次套刻，制备圆形打底金属沉积孔，通过电子束蒸发蒸镀复合金属膜，采用湿法剥离方式获得打底金属图形阵列；然后，旋涂中等厚度光刻胶，对准打底金属图形中心开展二次套刻，制备方形铟柱沉积孔，再通过真空热蒸发沉积铟膜，采用湿法剥离工艺获得铟柱；最后采用回流炉在甲酸氛围下缩球，获得大高宽比铟柱阵列。本发明整体工艺难度比现有方式低，制备出的铟柱尺寸能够满足要求，而且尺寸均匀性较高，铟柱表面均匀且光滑，完全能够满足倒装互连工艺一致性要求。