[发明专利]电容式压力传感器及其制备方法和钢琴手套在审
| 申请号： | 202010329665.2 | 申请日： | 2020-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN111552381A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 娄正;沈国震;赵淑芳;冉文浩;王得鹏;尹瑞阳;闫勇旭 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G06F3/01 | 分类号： | G06F3/01;G06F3/041;G06F3/044;G01L1/14 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 吴梦圆 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电容式压力传感器及其制备方法和钢琴手套，该电容式压力传感器包括第一衬底；第一电极，其设置在第一衬底上；介电层，其设置在第一电极上；第二电极，其设置在介电层上；以及第二衬底，其设置在第二电极。本发明通过采用3D结构的介电层构建柔性电容式压力传感器，成功的解决了电容式压力传感器灵敏度低的问题，所制备的电容式压力传感器灵敏度非常的高；本发明设计的3D结构的电容式压力传感器响应速度很快，能够准确无误的采集到所有人体发出的压力信号。 | ||
| 搜索关键词： | 电容 压力传感器 及其 制备 方法 钢琴 手套 | ||
【主权项】：
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