[发明专利]光学位移计

摘要

本发明涉及光学位移计。目的是在抑制U方向上的测量精度的下降的同时加速V方向上的读取。提供用于基于三角测量原理来测量沿Y方向输送的测量对象的X‑Z截面的轮廓的光切法的光学位移计。光源利用在X方向上具有宽度的狭缝光照射测量对象。图像传感器接收来自测量对象的反射光，具有沿与X方向相对应的U方向和与Z方向相对应的V方向二维排列的多个像素，并输出多个像素对反射光的光接收量。检测单元针对沿U方向排列的多个像素列各自将作为光接收量的峰的V方向上的像素的位置检测为峰位置。生成单元根据U方向上的多个像素列的各位置和V方向上的峰位置生成X‑Z截面的轮廓。图像传感器的V方向上的分辨率低于图像传感器的U方向上的分辨率。