[发明专利]致动传感模块有效
申请号: | 202010330580.6 | 申请日: | 2020-04-24 |
公开(公告)号: | CN113550891B | 公开(公告)日: | 2022-10-25 |
发明(设计)人: | 莫皓然;陈世昌;廖家淯;廖鸿信;高中伟;黄启峰;韩永隆;蔡长谚;古旸 | 申请(专利权)人: | 研能科技股份有限公司 |
主分类号: | F04B45/047 | 分类号: | F04B45/047;F04B39/10;F04B49/06;G01L19/00;G01F1/34 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 喻学兵 |
地址: | 中国台湾新竹市*** | 国省代码: | 台湾;71 |
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摘要: | 本案提供一种致动传感模块,包含:底板,具有接脚沟渠、凹槽、出气口及泄气口;接脚,设置于接脚沟渠;控制芯片,设置于凹槽;隔板,叠设于底板,具有出气开口及泄压通孔泄压通孔,出气开口与出气口相连通,泄压通孔与泄气口对应;气压传感器,容设于出气开口;薄型气体传输装置,设置于隔板且封盖出气开口及泄压通孔;以及盖板,设置于隔板,且具有开口供薄型气体传输装置穿设;其中,通过薄型气体传输装置将气体输送至出气开口,由位于出气开口的气压传感器检测气体的气压变化。 | ||
搜索关键词: | 传感 模块 | ||
【主权项】:
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