[发明专利]具有垂直扩散板的电容器结构有效
| 申请号： | 202010330599.0 | 申请日： | 2019-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN111653627B | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 陈亮 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H01L29/94 | 分类号： | H01L29/94;H01L21/336 |
| 代理公司： | 北京永新同创知识产权代理有限公司 11376 | 代理人： | 林锦辉;刘景峰 |
| 地址： | 430223 湖北省武*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种电容器结构，包括半导体衬底、设置在半导体衬底中的第一垂直扩散板、设置在半导体衬底中并围绕第一垂直扩散板的第一浅沟槽隔离(STI)结构、以及设置在半导体衬底中并围绕第一STI结构的第二垂直扩散板。第一垂直扩散板还包括作为半导体衬底的一部分的第一下部。第一下部被第一晶片背面沟槽隔离结构围绕并电隔离。第一晶片背面沟槽隔离结构与第一STI结构的底部直接接触。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 垂直 扩散 电容器 结构 | ||
【主权项】：
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