[发明专利]一种808nm激光外延片及其制备方法在审
| 申请号： | 202010332114.1 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111490450A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 罗帅;季海铭;徐鹏飞;王岩;王俊;徐智鹏 | 申请（专利权）人： | 江苏华兴激光科技有限公司 |
| 主分类号： | H01S5/026 | 分类号： | H01S5/026;H01S5/34 |
| 代理公司： | 武汉今天智汇专利代理事务所(普通合伙) 42228 | 代理人： | 邓寅杰 |
| 地址： | 221300 江苏省徐州市邳州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种808nm激光外延片及其制备方法，其不同之处在于，包括以下步骤：步骤1：选择一GaAs衬底；步骤2：在所述衬底上依次沉积缓冲层、下限制层和光栅层；步骤3：在所述光栅层上制备光栅图形；步骤4：在制备有光栅图形的所述光栅层上继续依次生长覆盖层、包层、下波导层、量子阱层、上波导层、上限制层和接触层，完成制备。本发明制备的激光外延片波长漂移系数低、注入效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 808 nm 激光 外延 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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