[发明专利]一种声表面波固态电场传感器

摘要

本发明提供了一种声表面波固态电场传感器，包括声表面波延迟线和敏感电极，声表面波延迟线包括衬底、压电元件、叉指换能器和感测区反射栅；压电元件布置于衬底上表面；敏感电极布置在压电元件上表面形成感测区，压电元件上表面还制备有叉指换能器和感测区反射栅，叉指换能器和感测区反射栅相对设置在感测区的两侧，叉指换能器的电端口通过阻抗网络连接到天线。本发明提供的声表面波固态电场传感器内部只有声表面波的传播和变换，不需要任何驱动检测电路，整个感测过程不会对外电场造成任何扰动，可实现对被测电场的无失真感测，且没有任何可动部件，不会受到环境振动的影响。