[发明专利]一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法有效

专利信息
申请号: 202010333296.4 申请日: 2020-04-24
公开(公告)号: CN111560615B 公开(公告)日: 2022-09-16
发明(设计)人: 陆柏灿;沈天晓;朱振华;何天阳 申请(专利权)人: 励福(江门)环保科技股份有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C25C1/12;C01G49/10;C22B15/00;C22B7/00
代理公司: 广州浩泰知识产权代理有限公司 44476 代理人: 张金昂
地址: 529040 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明提供了一种酸性蚀刻废液在线回收铜、氯气及蚀刻液再生的方法,包括以下步骤:蚀刻废液电解、蚀刻液再生、阴极铜回收、铜还原、固液分离、氯气吸收、尾气处理;将一部分酸性蚀刻废液输送至反应釜中进行铜还原,即在隔膜电积法的基础上增加了铁粉还原法,通过加入铁粉,将酸性蚀刻废液中的铜离子还原成铜粉,溶液转换成为氯化亚铁溶液,氯化亚铁溶液用于吸收残余氯气或者作为产品,为电解模块与蚀刻制程溶液的闭路循环系统提供了开路,解决系统盐分过高、杂质累积、蚀刻速率下降的问题,避免了蚀刻制程溶液的增量,提高了铜的回收率。
搜索关键词: 一种 酸性 蚀刻 废液 在线 回收 氯气 再生 方法
【主权项】:
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