[发明专利]一种硅片制绒方法

摘要

本发明公开一种硅片制绒方法，包括以下步骤：S1、将待处理硅片进行前氧化处理，除去硅片表面污染物；S2、将S1所得硅片放入纯水中清洗；S3、将S2所得硅片放入SDE槽中SDE处理；S4、将S3所得硅片进行表面氧化处理；S5、将S4所得硅片放入纯水中清洗；S6、将S5所得硅片放入TEX槽中进行制绒处理；S7、将S6所得硅片放入纯水中清洗后；S8、将S7所得硅片进行后清洗1；S9、将S8所得硅片放入纯水中清洗后，然后进行CP；S10、将S9所得硅片用纯净水清洗后，进行后清洗2；S11、将S10所得硅片用纯净水清洗后，再用氢氟酸清洗；S12、将S11所得硅片用纯净水清洗后，再烘干。本发明适用于异质结电池表面清洁及制绒。