[发明专利]集成电路电流探测装置以及方法有效
| 申请号： | 202010335015.9 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111426869B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 刘永丽;廖振伟;张涛 | 申请（专利权）人： | 西安紫光国芯半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R19/00 | 分类号： | G01R19/00;G01R15/20;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京众达德权知识产权代理有限公司 11570 | 代理人： | 何蓉 |
| 地址： | 710075 陕西省西安*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种集成电路电流探测装置以及方法，所述集成电路电流探测装置包括测试导线、检测电路以及第一测试焊盘；所述测试导线连接在前端电路和后端电路之间；所述检测电路用于检测流过所述测试导线的电流，并将流过所述测试导线的电流转换为电压；所述第一测试焊盘用于连接所述检测电路的输出端。本发明提供的集成电路电流探测装置以及方法，实现了在晶圆上对节点电流进行直接探测。 | ||
| 搜索关键词： | 集成电路 电流 探测 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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