[发明专利]一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 202010335722.8 | 申请日： | 2020-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN111522153A | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 帅垚;乔石珺;罗文博;吴传贵;王韬;张万里;高琴;杨小妮 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G02F1/035 | 分类号： | G02F1/035;G02F1/03;G02F1/225 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器，属于集成光学领域。本发明公开的电光调制器结构包括：绝缘体上材料、调制电极和光波导；所述绝缘体上材料包括自下而上依次层叠的衬底层、键合层和薄膜层；调制电极贯穿薄膜层设置在键合层上表面，并与键合层相接触；调制电极为行波电极或集总电极，包括信号电极和地电极；信号电极与地电极之间设有光波导，光波导制作于薄膜层；调制电极与光波导之间的间距＞0。相较于现有技术，本发明提供的一种基于绝缘体上材料的马赫－曾德型电光调制器降低了电容及工艺制作的复杂性，同时增强了电光调制效率，实现了宽带高速调制。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 绝缘体 材料 马赫 曾德型 电光 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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