[发明专利]适用于具有倾斜导电接点的多待测单元的探针模块在审
| 申请号： | 202010336493.1 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN112285394A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 张嘉泰 | 申请（专利权）人： | 旺矽科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人： | 陈晓庆 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种探针模块，用于同时检测侧边缘相邻的第一、二待测单元，第一、二待测单元分别具有邻近其第一主边缘及相邻侧边缘的第一、二交界接点；所述探针模块包含有一探针座，以及设于所述探针座的不同高度的第一、二交界探针，当所述探针模块检测第一、二待测单元时，各所述待测单元的第一主边缘比第二主边缘更靠近所述探针座，第一、二交界探针以其悬臂段分别经过第一、二待测单元的第一主边缘上方而分别延伸至第一、二交界接点上方进而以其点触段点触第一、二交界接点；由此，第一、二交界探针可避免相互干涉。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 具有 倾斜 导电 接点 多待测 单元 探针 模块 | ||
【主权项】：
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