[发明专利]用于清洗薄膜式真空规沉积物清除装置的清洗设备及方法在审
| 申请号： | 202010336945.6 | 申请日： | 2020-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN111389815A | 公开（公告）日： | 2020-07-10 |
| 发明（设计）人： | 张心强;陈林 | 申请（专利权）人： | 中科九微科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/12 | 分类号： | B08B3/12;B08B3/08;B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 于妙卓 |
| 地址： | 637000 四川省南充市顺庆*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于清洗薄膜式真空规沉积物清除装置的清洗设备及方法，清洗设备包括沿清洗方向依次设置的预处理腔室、电化学清洗腔室、等离子清洗腔室、超声清洗腔室，以及用于在相邻两个腔室之间传递所述真空规沉积物清除装置的运输装置。如此设计，依次通过超声预清洗、电化学清洗、等离子清洗和超声清洗四道工序对真空规沉积物清除装置上的沉积物进行清洗，可以高效地清除真空规沉积物清除装置上附着的各种沉积物，实现真空规沉积物清除装置的重复利用；而且，通过运输装置实现真空规沉积物清除装置在四个腔室之间的自动流转，实现了对真空规沉积物清除装置的自动化清洗，提高了清洗效率。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 清洗 薄膜 真空 沉积物 清除 装置 设备 方法 | ||
【主权项】：
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