[发明专利]一种无掩模板光刻装置有效
| 申请号： | 202010337223.2 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111458987B | 公开（公告）日： | 2022-10-21 |
| 发明（设计）人： | 严振中;吴阳 | 申请（专利权）人： | 赫智科技（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人： | 廖娜 |
| 地址： | 215000 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种无掩模板光刻装置，包括光学面包板，光学面包板的一侧设置有光源支撑板，光源支撑板上设置有光源模组，光学面包板上设置有光学引擎模组，贴合于光源模组且还位于同一轴线，光源模组的光源输出端连通至光学引擎模组的光源进入端，光学引擎模组的光源输出端上设置有镜筒，与光学引擎模组呈垂直设置，镜筒连通至第一反射镜模组，光学面包板上设置有第二反射镜模组，与第一反射镜模组相对间隔设置，光学面包板上设置有照明支撑板，与第二反射镜模组相对，且在照明支撑板和第二反射镜模组之间设置有导向轴，与第一反射镜模组和镜筒构成平行设置，成像模组穿接在导向轴上，呈竖直设置。本发明能依据需求进行任意改动，方便其灵活性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 模板 光刻 装置 | ||
【主权项】：
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