[发明专利]三维半导体存储器装置在审

专利信息
申请号: 202010337804.6 申请日: 2020-04-26
公开(公告)号: CN112234064A 公开(公告)日: 2021-01-15
发明(设计)人: 金俊亨;林根元;金万中 申请(专利权)人: 三星电子株式会社
主分类号: H01L27/11517 分类号: H01L27/11517;H01L27/11521;H01L27/11551;H01L27/11563;H01L27/11568;H01L27/11578
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 张逍遥;薛义丹
地址: 韩国京畿*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供了一种三维半导体存储器装置,所述三维半导体存储器装置包括:基底,包括第一方向上的第一连接区和第二连接区以及位于第一连接区与第二连接区之间的单元阵列区;以及第一块结构,位于基底上。第一块结构在单元阵列区上具有第一宽度,第一块结构在第一连接区上具有第二宽度,并且第一块结构在第二连接区上具有第三宽度。第一宽度、第二宽度和第三宽度平行于与第一方向交叉的第二方向,并且第一宽度小于第二宽度且大于第三宽度。
搜索关键词: 三维 半导体 存储器 装置
【主权项】:
暂无信息
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