[发明专利]一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置有效
| 申请号： | 202010338387.7 | 申请日： | 2020-04-26 |
| 公开（公告）号： | CN111474182B | 公开（公告）日： | 2022-05-20 |
| 发明（设计）人： | 徐均琪;苏俊宏;吴慎将;时凯;万文博;杨利红;汪桂霞;刘祺;袁松松 | 申请（专利权）人： | 西安工业大学 |
| 主分类号： | G01N21/95 | 分类号： | G01N21/95;G01N21/21 |
| 代理公司： | 西安新思维专利商标事务所有限公司 61114 | 代理人： | 黄秦芳 |
| 地址： | 710032 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于偏振参数识别光学薄膜激光损伤的方法和装置，其克服了现有技术中判别薄膜是否发生损伤，常常会造成“误判”现象，适用于激光损伤阈值测量中各类光学元件及镀膜元件表面损伤的在线判别，具有快速、准确的特点。本发明采用的技术方案如下：包括用于安装薄膜测试样品的二维工作台，二维工作台两侧分别设置有入射光路和反射光路，入射光路一侧依次设置有光源、滤光片、平行光管和起偏器，反射光路一侧依次设置有波片、检偏器和光电接收器，高能激光器的激光发射端正对薄膜测试样品表面，在高能激光器的激光脉冲输出方向依次设置有衰减器和会聚透镜，其中二维工作台、波片、检偏器、高能激光器、接收器和衰减器均连接至工业控制计算机。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 偏振 参数 识别 光学薄膜 激光 损伤 方法 装置 | ||
【主权项】：
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