[发明专利]带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置有效
| 申请号： | 202010343027.6 | 申请日： | 2020-04-27 |
| 公开（公告）号： | CN111913361B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 安井健一 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 牛玉婷 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 实施方式涉及带电粒子束描绘方法以及带电粒子束描绘装置。实施方式的带电粒子束描绘方法具备如下工序：使用被定义了图形图案的描绘数据，将所述图形图案分割为通过带电粒子束的发射而能够照射的尺寸的多个发射图形；将描绘对象基板虚拟分割成网格状而分为多个网格区域，基于所述图形图案的位置，按照每个所述网格区域，计算对邻近效应以及与邻近效应相比影响半径更小的中距离效应进行校正的校正照射量；使用所述校正照射量计算各发射图形的照射量；基于所述照射量计算所述发射图形的边缘部的不足照射量；基于所述不足照射量对所述发射图形进行尺寸调整；以及使用所述照射量的带电粒子束，对所述描绘对象基板描绘进行了尺寸调整的发射图形。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 描绘 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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