[发明专利]一种高效晶体退火装置及其退火方法有效
| 申请号： | 202010349412.1 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111411399B | 公开（公告）日： | 2021-12-10 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B23/00;C30B29/36;C30B29/40 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 赵君 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 一种高效的晶体退火装置及其退火方法，它属于晶体生长加工领域。本发明包括坩埚本体，坩埚盖，坩埚本体内底部设置有支架卡槽、粉料筒卡槽，支架卡槽连接组合支架，粉料筒卡槽连接粉料筒，坩埚本体顶端设置有坩埚盖，粉料筒底部设置有第一定位键，组合支架包括第一支架、第二支架，第一支架为凹型支架，第一支架的顶端两侧设置有键槽，第一支架的中部内侧设置有第一凹槽，第二支架为桥形支架，第二支架的底端两侧设置有第二定位键，第二支架的顶端中心位置设置有第二凹槽，4个支架卡槽呈正方形分布，粉料筒卡槽位于坩埚本体底部中心位置。本发明可有效去除晶体中存在的热应力及机械加工应力，避免后续切割工艺过程中产生晶片翘曲和开裂问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高效 晶体 退火 装置 及其 方法 | ||
【主权项】：
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