[发明专利]一种掺稀土预制棒的制备方法及其稀土供料系统在审
| 申请号： | 202010349751.X | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111548003A | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 郑伟;汪松;童维军;冯汉强;钟力;包翔;岳天勇;曹蓓蓓 | 申请（专利权）人： | 长飞光纤光缆股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B37/018 | 分类号： | C03B37/018 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司 42102 | 代理人： | 张秋燕 |
| 地址： | 430073 湖北省*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掺稀土预制棒的制备方法与稀土供料系统，这种工艺采用等离子体化学气相沉积，所述方法包括：利用稀土供料系统将稀土卤化物通入PCVD车床，在高频等离子体的作用下，稀土卤化物发生电离并与四氯化硅、三氯氧磷等在石英衬管内一起参与反应。本发明所提供的制备方法所制预制棒在几何尺寸，掺杂浓度均匀性等方面有良好的改善；本发明所提供的稀土供料系统结构简单、设置合理且具备良好的兼容性和可扩展性，便于安装和对现有设备的改造。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 稀土 预制 制备 方法 及其 供料 系统 | ||
【主权项】：
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