[发明专利]缺陷图形特征参数的分析方法在审
| 申请号： | 202010350035.3 | 申请日： | 2020-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN111507061A | 公开（公告）日： | 2020-08-07 |
| 发明（设计）人： | 李萌;王英磊;曾鼎程;胡展源 | 申请（专利权）人： | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | G06F30/398 | 分类号： | G06F30/398 |
| 代理公司： | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人： | 郭四华 |
| 地址： | 201315 上海市浦东新区中国（上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种缺陷图形特征参数的分析方法，包括步骤：步骤一、进行晶圆的缺陷测试并提取各缺陷的第一坐标；步骤二、将各第一坐标转换为对应的版图上的第二坐标；步骤三、在版图上添加缺陷标记层，缺陷标记层在各第二坐标处形成一个对应的缺陷标记图形；步骤四、标记出版图中被分析图层与缺陷标记图形所接触的版图图形并作为版图缺陷图形；步骤五、获取版图缺陷图形的特征参数。本发明能提高缺陷图形特征参数的提取效率，并能实现对缺陷图形特征参数进行全面和准确的分析。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 图形 特征 参数 分析 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力集成电路制造有限公司，未经上海华力集成电路制造有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010350035.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种高强速凝型的聚物砂浆及其制备方法
- 下一篇：进气蜗壳结构
