[发明专利]一种应用于大口径光学超构表面的位置误差补偿校正装置

摘要

本发明公开了一种应用于大口径光学超构表面的位置误差补偿校正装置，包括超构表面元件、柔性铰链机构、周向阻挡、气缸安装件、气路系统、结构基座、气路悬挂、铜质吸盘。整体装置依附结构基座安装，气路系统导通铜质吸盘，超构表面元件与铜质吸盘贴合，形成微真空室吸附。柔性铰链机构上下端分别固定在气缸安装件、结构基座。多铰链方式结合杠杆力臂实现推力放大、反向，铰链输出端位移杠杆比缩小，力传递到超构表面元件实现微位移形变。超构表面元件通常在加工后，由于加工误差及环境温度等影响，图形区扭曲、偏移、移位等形变，校正对超构表面元件误差，补偿使图形位置复原。本发明适用于轻量化光学系统精密装调。