[发明专利]批次型衬底处理设备有效
| 申请号： | 202010357457.3 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111883410B | 公开（公告）日： | 2023-07-11 |
| 发明（设计）人： | 赵政熙 | 申请（专利权）人： | 株式会社尤金科技 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 韩国京畿道龙*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供一种批次型衬底处理设备。所述批次型衬底处理设备包括：筒，被配置成提供处理空间；分隔壁，被配置成提供在其中产生等离子体的放电空间；气体供应管，被配置成向所述放电空间供应工艺气体；以及多个电极，设置在所述筒外，以在所述放电空间中产生所述等离子体。所述筒具有从所述筒的最外圆周表面向内凹陷的多个凹槽，且所述多个电极分别容置在所述多个凹槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 批次 衬底 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
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