[发明专利]确定芯片电性特征的方法、设备和计算机可读存储介质有效
| 申请号： | 202010357587.7 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111579961B | 公开（公告）日： | 2023-04-07 |
| 发明（设计）人： | 请求不公布姓名 | 申请（专利权）人： | 全芯智造技术有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 李兴斌 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市高新区*** | 国省代码： | 安徽;34 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本公开的实施例涉及确定芯片的电性特征的方法、设备和计算机可读存储介质。该方法包括：确定所述芯片中的电路元件的规格；基于所述电路元件的规格确定第一关系，所述第一关系是所述电路元件的电性特征与用于制造所述芯片的工艺参数之间的关系；以及基于所述第一关系确定第二关系，所述第二关系是所述芯片的电性特征与所述工艺参数之间的关系。以这种方式，如果工艺参数发生改变，可以根据更新的工艺参数来预测芯片的电性特征。 | ||
| 搜索关键词： | 确定 芯片 特征 方法 设备 计算机 可读 存储 介质 | ||
【主权项】：
暂无信息
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