[发明专利]一种激光自混合的位移精密测量方法及系统在审
| 申请号： | 202010358547.4 | 申请日： | 2020-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111486793A | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 周伦彬;朱均超;周皓;吕林华;马骏 | 申请（专利权）人： | 苏州集成校准检测认证有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01B9/02;G01D5/34 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王佳丽 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种激光自混合的位移精密测量方法及系统，该方法包括：激光器发出激光至待测物体上，待测物体发生位移；激光在待测物体上发生反射后沿原路反馈回激光器谐振腔内，发生激光自混合干涉；采集自混合信号，并将光信号转化成电信号；采用EEMD算法对电信号进行去噪；对去噪后的电信号进行归一化处理，并根据对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子；根据相位展开算法进行位移重构。本测量方法利用光反馈自混合干涉，通过EEMD算法对自混合干涉信号进行去噪，可以得到纯净的自混合干涉信号，并结合对称折叠算法计算光反馈因子和线宽展宽因子，最后通过相位展开算法进行位移重构，测量误差小，实现精密长度测量，精度可达nm级别。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 混合 位移 精密 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
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