[发明专利]红外探测器及其制备方法有效

专利信息
申请号: 202010358791.0 申请日: 2020-04-29
公开(公告)号: CN111584659B 公开(公告)日: 2021-10-12
发明(设计)人: 杨为家;何畏;林士修;吴质朴 申请(专利权)人: 深圳市奥伦德元器件有限公司
主分类号: H01L31/0352 分类号: H01L31/0352;H01L31/109;H01L31/18;H03K17/78
代理公司: 广州嘉权专利商标事务所有限公司 44205 代理人: 孙浩
地址: 518100 广东省深圳市龙岗区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种红外探测器及其制备方法,其中,红外探测器包括:金属电极,以及自下而上依次设置的衬底、砷化镓基层和石墨烯层;衬底上设置有与砷化镓基层相平行的长条阵列式凹槽,砷化镓基层设置于长条阵列式凹槽上,砷化镓基层表面具有砷化铟量子点,金属电极设置在所述砷化镓基层两端。本发明中,通过在砷化镓基层表面设置砷化铟量子点,同时能够使得砷化镓基层相对该长条阵列式凹槽进行横向生长,从而可提高砷化镓基层的光响应能力,缩短红外探测器的响应时间,通过石墨烯层、砷化镓基层以及金属电极之间的配合,能够提高对于光生载流子的提取效率,提升红外探测器的灵敏度。
搜索关键词: 红外探测器 及其 制备 方法
【主权项】:
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