[发明专利]微流体致动器的异质整合芯片在审
| 申请号： | 202010361766.8 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN113594148A | 公开（公告）日： | 2021-11-02 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;戴贤忠;方麟辉;韩永隆;黄启峰;郭俊毅;林宗义;谢锦文 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L25/16 | 分类号： | H01L25/16;B81C1/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 喻学兵 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种微流体致动器的异质整合芯片，包含：一第一基板，具有一第一腔体；一第一绝缘层，设置于第一基板上；一第一导电层，设置于第一绝缘层上，并具有至少一电极垫片；一压电层，设置于第一导电层上；一第二导电层，设置于压电层上；一第二基板，接合于第一基板，借以定义出一第二腔体，并具有一喷孔、一流体流道以及一第三腔体；一接合层，接合于第一基板与第二基板之间；一控制元件，设置于第二基板中；至少一穿孔槽，由至少一电极垫片贯穿至第二基板；以及至少一导电体，填充于至少一穿孔槽中。 | ||
| 搜索关键词： | 流体 致动器 整合 芯片 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于研能科技股份有限公司，未经研能科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202010361766.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
