[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法

摘要

本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，包括提供带电粒子束和样品的步骤，以及用所述带电粒子束扫描所述样品的至少一部分的步骤。第一检测器用于获得测量的检测器信号，其对应于来自多个采样位置处所述样品的第一类型的发射。根据该方法，提供了数据类元素集，其中每个数据类元素将期望的检测器信号与对应样品信息值相关联。处理测量的检测器信号，并且处理包括：将所述测量的检测器信号与所述的数据类元素集进行比较；确定所述测量的检测器信号属于所述的数据类元素集中的某一个的至少一个概率；以及将至少一个样品信息值和所述至少一个概率分配给多个采样位置中的每一个。最后，可以以数据表示样品信息值和对应的概率。