[发明专利]使用带电粒子显微镜检查样品的方法在审
| 申请号： | 202010362677.5 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111896572A | 公开（公告）日： | 2020-11-06 |
| 发明（设计）人： | J.克卢萨切克;T.图玛;J.佩特热克 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01N23/2252;G01N23/2254;G01N23/2255;G01N23/2257;G01N23/2206;G01N23/20091;G01N23/205;G01N23/203;G01N23/2055;G01N23/20;G01N23/046;G01N23/ |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 张凌苗;申屠伟进 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种使用带电粒子显微镜检查样品的方法，其包含以下步骤：提供带电粒子射束以及样品，以及在所述样品上扫描所述带电粒子射束。第一检测器用于响应于在所述样品上扫描的所述射束检测来自所述样品的第一类型的发射；使用检测到的所述第一类型的发射的光谱信息，将多个相互不同的相位分配给所述样品。提供了所述样品的图像表示，其中所述图像表示含有不同的色调。以这类方式从预选的连续色调范围中选择色调，使得所述选择的色调包含在所述预选的连续色调范围内的相互对应的间隔。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 带电 粒子 显微镜 检查 样品 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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