[发明专利]化学气相沉积制备基于无铅全无机钙钛矿薄膜的柔性阻变存储器在审
| 申请号： | 202010363268.7 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111668371A | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | 朱媛媛;曾雄;王红军;熊锐;刘雍;程鹏伟 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00;C01B9/04;C01D17/00;C01G21/00;C01G21/16;C23C16/30 |
| 代理公司： | 西安西达专利代理有限责任公司 61202 | 代理人： | 郑安迪 |
| 地址： | 710021 陕西省*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种化学气相沉积法制备基于无铅全无机钙钛矿薄膜的环境友好型的柔性阻变存储器，器件的结构从下到上依次为柔性衬底、下金属电极、无铅钙钛矿阻变存储层、上金属电极，属于非易失性存储器领域。本发明的步骤如下：步骤1、选择合适的柔性衬底并在其上沉积金属导电薄膜作为下金属电极；步骤2、采用化学气相沉积无铅全无机钙钛矿薄膜作为阻变存储层；步骤3、在阻变存储层的表面沉积上金属导电薄膜作为上金属电极。本发明提供了一种环境友好型柔性阻变存储器的制备方法，通过化学气相沉积合成无铅全无机钙钛矿薄膜，制备的器件具有高的抗弯曲性和优异的电学性能。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 制备 基于 无铅全 无机 钙钛矿 薄膜 柔性 存储器 | ||
【主权项】：
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