[发明专利]一种电容触摸屏镀膜工艺及触摸屏在审
| 申请号： | 202010364591.6 | 申请日： | 2020-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN111560586A | 公开（公告）日： | 2020-08-21 |
| 发明（设计）人： | 梁锐生;郭繁锐;郑仁华 | 申请（专利权）人： | 豪威星科薄膜视窗（深圳）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 深圳市深弘广联知识产权代理事务所(普通合伙) 44449 | 代理人： | 向用秀 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种电容触摸屏镀膜工艺及触摸屏，涉及显示元件加工技术领域；触摸屏包括基层和通过靶材溅射依次敷设在所述基层上的ZrOx层、二氧化硅层和ITO层。本发明采用在线表面活性增强处理方式，创建结晶诱导层，采用ZrOx作为折射率匹配层的第一层，采用在线后离子源处理，激活与金属层接触的表面活性，有效改善传统ITO膜对于金属层的附着力，保证了屏幕性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 电容 触摸屏 镀膜 工艺 | ||
【主权项】：
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